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扫描电镜（SEM）成像过程中出现的伪影（artifact）是影响图像质量和判读准确性的重要问题。伪影通常来源于样品准备、设备设置、电子束参数或环境因素，以下是常见类型和其成因：

1. 充电伪影（Charging Artifacts）

表现：图像发亮、发暗、漂移、闪烁，边缘模糊，甚至出现条纹、波浪或黑斑。

成因：非导电样品或未镀膜的绝缘体在电子束轰击下积累电荷。

解决方法：喷金/喷碳处理样品、降低束流、使用低真空模式或ESEM。

2. 条纹/漂移伪影（Drift/Streaking）

表现：图像沿扫描方向拉伸或扭曲，出现拖尾或锯齿。

成因：样品机械移动、环境振动、热膨胀、电子束扫描不稳定等。

解决方法：提高稳定性，延长扫描时间，使用抗震平台，降低加速电压。

3. 污染伪影（Contamination Artifacts）

表现：图像出现不规则的阴影、膜状或块状覆盖物，逐帧变暗。

成因：电子束在真空腔中的有机残留、油蒸汽或样品脱气物上引发沉积。

解决方法：清洁样品和样品台、预抽真空充分、降低束流、使用冷阱。

4. 电磁干扰伪影（EMI）

表现：周期性波纹、周期性亮暗条纹或不规则明暗带。

成因：周围电气设备干扰（如荧光灯、泵、变压器等）。

解决方法：检查并隔离干扰源，稳定电源，使用电磁屏蔽。

5. 扫描畸变（Scan Distortion）

表现：图像比例不一致、变形、边缘弯曲。

成因：电子束扫描系统校准误差或数字处理延迟。

解决方法：重新校正扫描比例，检查软件设置。

6. 信噪比不足伪影

表现：图像颗粒感强、背景杂乱、有明显噪点。

成因：信号电子数量不足，探测器灵敏度低，束流太小。

解决方法：增加积分时间、提高束流或加速电压，优化探测器设置。

7. 样品运动或抖动伪影

表现：图像模糊、出现“重影”或跳动感。

成因：样品未固定牢固、样品台故障、外部振动。

解决方法：加固样品，检查样品台稳定性，使用防震系统。