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扫描电镜（SEM）样品台通常可以调节角度，这是样品台设计中的一个重要功能，具体包括倾斜（tilt）和旋转（rotate）两个方向的调节。其主要作用如下：

一、调角度的基本方式

倾斜（Tilt）：通常在 -5° 到 +70° 之间可调，有些设备甚至支持更大范围。

旋转（Rotate）：可以绕垂直轴旋转，角度范围一般为 360°。

二、调节角度的作用

优化成像视角

通过倾斜样品，可以从不同角度观察其表面结构，获得更加立体或真实的图像，特别适用于观察微观结构的高度差或凹凸不平的表面。

提高成分分析效率（EDS 等）

EDS 探测器一般位于侧面，为了提高探测效率，可以将样品台倾斜，使待分析表面朝向探测器，减小X射线路径被样品本体遮挡的可能，增强信号强度。

进行晶体取向分析（如 EBSD）

EBSD 分析时需要将样品台倾斜至 70° 左右，以使电子束以合适角度入射到样品表面，从而获得清晰的背散射电子衍射图样。

寻找合适的观测面

对于不规则样品，可以通过旋转和倾斜找到平整且对准电子束的观测区域，提高成像质量。

避免充电效应

对于非导电样品，适当调整角度有时可以分散电子束入射区域，降低局部充电的风险，改善成像效果。

三、使用注意事项

调角时要避免样品碰撞电子枪或探测器；

在高倍率或进行精细分析前，应锁定样品台，防止移动；

倾斜角度过大时，景深变化明显，需重新聚焦；

部分分析（如定量EDS）在高倾角时可能出现几何畸变，需要修正。