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判断扫描电子显微镜（SEM）成像是否正常，需要从图像质量、设备状态、样品制备等多个维度进行综合判断。以下是详细的检查要点与标准：

 一、图像质量判断标准

1. 图像是否清晰

清晰图像应具备良好的边缘对比度，结构细节可辨；

模糊可能由聚焦不准、样品漂移、镜筒污染引起。

2. 对比度是否适中

图像中应能清楚分辨出高、低原子序的材料区域；

若对比度过低，可能是探测器设置或加速电压不当。

3. 是否存在明显噪声或干扰

正常图像应平滑，无明显杂散斑点、横条纹、雪花点；

噪声过多常由：

探测器故障；

接地不良；

电磁干扰；

真空不好造成电子束不稳定。

4. 图像是否稳定（无拖影或漂移）

拖影通常表明样品带电、样品未固定牢靠或扫描速度过快；

检查样品接地、扫描参数和样品夹持状态。

5. 放大倍数与分辨率是否匹配

高倍图像应展示细节清晰、边界锐利；

如果高倍图像仍模糊不清，需检查对焦、物镜孔径或样品表面状态。

 二、仪器运行状态检查

1. 真空状态

真空不好可能导致电子束散射，图像发虚、噪声多；

检查系统是否报真空报警，观察真空计读数。

2. 电子枪状态

发射电流是否稳定；

是否有提示灯丝老化或电压不稳定。

3. 扫描参数设置是否合理

加速电压（一般 1–30 kV）；

工作距离（通常 5–15 mm）；

探测器选择（SE, BSE, EDS 等）是否合适；

是否正确选用慢速扫描模式进行高质量成像。

三、样品状态检查

1. 样品导电性

非导电样品若未镀金/碳，可能导致充电效应 → 图像漂移或亮斑；

使用非导电样品前应进行金属镀膜处理。

2. 样品是否清洁、固定牢靠

粉末样品应喷胶固定；

若样品在真空中移动，图像会跳动或模糊。