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扫描电镜（SEM）在成像过程中对样品表面状态非常敏感，样品表面不平整（如高低起伏、倾斜、凹凸不平）会对图像质量和分析结果产生多个方面的负面影响：

1. 图像失焦、局部模糊

由于 SEM 的焦距是固定的，表面高度不一会使部分区域超出焦平面；

结果是：只有一部分区域清晰，其他区域模糊或无法聚焦；

特别是在高放大倍率下，这种现象更加明显。

2. 成像畸变

当表面倾斜或起伏剧烈时，电子束入射角度变化；

会导致图像比例失真、边缘拉伸或压缩，甚至出现几何变形；

特别是在测量微结构尺寸时，会影响准确性。

3. 信号收集不均，图像亮度不一致

表面不平整导致二次电子或背散射电子发射方向不同；

会造成图像中某些区域亮度增强或变暗，产生不自然的对比差异；

影响细节识别和表面结构分析。

4. 带电效应加剧

不平整样品上存在尖锐边缘或突起部位，易聚集电荷；

结果是图像出现漂移、噪声、闪烁或不规则亮点；

尤其在未镀膜的绝缘样品上更为明显。

5. 限制合适的工作距离和放大倍率

不平整样品会导致某些区域过近或过远于物镜极柱；

高倍率下容易发生焦点难以统一，甚至发生碰撞风险；

会迫使你不得不选用较长工作距离、较低倍率，影响成像质量。

6. 影响能谱分析（EDS）准确性

高低起伏影响探测器的入射角度和信号路径；

导致元素峰值强度波动、空间分布不清晰，甚至错判含量；

特别是在表面倾斜部位，EDS 会出现阴影效应或信号遮挡。

7. 难以进行3D建模或表面分析

若需利用图像进行表面重构、纹理分析、深度测量等，高低不平会降低数据一致性与精度。