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扫描电镜（SEM）中的工作距离（Working Distance，简称 WD）是指电子枪发出的电子束末端（物镜极柱）到样品表面的垂直距离。调节不当会对成像质量、景深、放大倍率等造成明显影响。

下面是工作距离调节不当可能引发的几个主要问题：

1. 图像模糊、分辨率下降

如果 WD 太大，电子束聚焦能力减弱，成像点扩散，导致图像变模糊，分辨率降低；

特别是在高放大倍率下，WD 应尽量小，以保持清晰度。

2. 景深过浅或过深影响观测效果

WD 太小：虽然分辨率高，但景深变浅，图像中只有焦点处清楚，其他区域容易模糊；

WD 太大：景深增加但图像整体清晰度下降，难以观察精细结构。

3. 电子束照射角度不理想

WD 影响束斑大小和入射角；

若距离不适合，电子束可能不能以理想角度照射样品，影响表面细节成像。

4. 导致对焦困难

工作距离偏离成像范围时，对焦范围变窄或需要反复微调，操作效率降低；

一些情况下会出现焦点丢失或无法聚焦。

5. 影响能谱分析（EDS）精度

EDS 探测器通常固定在一定角度和距离，WD 过小或过大会影响探测角度或遮挡探测器视角，导致信号弱或分析不准确；

通常 EDS 的 WD 为 10–15 mm。

6. 样品台可能碰撞极柱

WD 设置过小，在自动调焦或样品升高时，样品可能碰撞电子枪极柱，严重时会损坏设备或污染镜筒。

7. 放大倍率受限

高倍率成像时，WD 需要足够小，否则无法实现良好的图像分辨率和束斑聚焦；

调节不当可能限制观察的最大放大倍数。